[实用新型]玻璃基板监测装置

摘要

本实用新型公开了一种基板检测装置，包括一设置于旋转腔体中的旋转机台，其特征在于，所述旋转机台包括一底座，位于所述底座上垂直设置多个有定位结构及支撑柱，所述支撑柱用于支撑基板，所述定位销用于基板的固定防止基板产生偏移；部分所述定位结构和/或支撑柱设置有传感器，每个所述传感器均与所述基板相接触，用于检测所述基板对所述定位结构和/或支撑柱产生的压力。在机台带动玻璃基板进行旋转时，通过延展臂上设置的压力传感器对基板进行实时监测，如果基板一旦出现严重偏移甚至破片，压力传感器则会通过报警装置发出报警信息通知操作人员机台上放置的基板已产生异常并进行排查，避免造成更大的损失。

主权项

一种基板监测装置，包括一设置于旋转腔体中的旋转机台，其特征在于，所述旋转机台包括一底座，位于所述底座上垂直设置有多个定位结构及支撑柱，所述支撑柱用于支撑基板，所述定位结构用于防止基板产生偏移；部分所述定位结构和/或支撑柱设置有传感器，用于监测所述基板对所述定位结构和/或支撑柱产生的压力。