[实用新型]固晶机及其真空吸取支架有效
| 申请号： | 201420098847.3 | 申请日： | 2014-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN203746812U | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | 梁国康;梁国城;唐军成;卢炳昌 | 申请（专利权）人： | 先进光电器材（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 深圳市博锐专利事务所 44275 | 代理人： | 张明 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种固晶机及其真空吸取支架，其中支架包括吸气嘴、固定板及吸片板；所述固定板与吸片板层叠设置，于吸片板中贯穿厚度方向开设有的吸气腔，所述固定板对应吸片板吸气腔处开设与吸气腔相联通的通孔，固定板的外侧对应通孔设置有吸气嘴。相比于常见固晶机中采用软胶单孔的真空吸盘，本实用新型的有益效果在于采用吸片板的平板式吸附结构，且配合吸气腔可大面积的对物料进行一次性平整稳定的吸附。从而确保了固晶机工作过程中的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 固晶机 及其 真空 吸取 支架 | ||
【主权项】：
一种固晶机真空吸取支架，其特征在于：它包括吸气嘴、固定板及吸片板；所述固定板与吸片板层叠设置，于吸片板中贯穿厚度方向开设有的吸气腔，所述固定板对应吸片板吸气腔处开设与吸气腔相联通的通孔，固定板的外侧对应通孔设置有吸气嘴。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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