[实用新型]一种化学机械抛光研磨液过滤装置有效
| 申请号： | 201420117475.4 | 申请日： | 2014-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN203738567U | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | 熊世伟 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B57/02;B01D35/12 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种化学机械抛光研磨液过滤装置，应用于包括研磨液输入管路和研磨液输出管路的化学机械抛光研磨液供应系统中，包括：用于过滤从所述研磨液输入管路中输入的研磨液的研磨液过滤器；研磨液过滤器内部结构为网状结构；分别通过连接件固定在所述研磨液过滤器两端的第一T型输送管路和第二T型输送管路；用于输入去离子水的去离子水输入管路，通过连接件将其固定在所述第一T型输送管路的一接口；用于输出经过研磨液过滤器的去离子水的去离子水输出管路，通过连接件将其固定在所述第二T型输送管路的一接口。本实用新型可以减少研磨液结晶的源头，有效防止研磨液的结晶通过输送管路进入抛光界面，避免刮伤晶圆，提高晶圆的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 研磨 过滤 装置 | ||
【主权项】：
一种化学机械抛光研磨液过滤装置，应用于包括研磨液输入管路和研磨液输出管路的化学机械抛光研磨液供应系统中，其特征在于，所述研磨液过滤装置包括：用于过滤从所述研磨液输入管路中输入的研磨液的研磨液过滤器；所述研磨液过滤器内部结构为网状结构，其网孔分为多层；连接件；分别通过所述连接件固定在所述研磨液过滤器两端的第一T型输送管路和第二T型输送管路；用于输入去离子水的去离子水输入管路，通过所述连接件将其固定在所述第一T型输送管路的一接口；用于输出经过所述研磨液过滤器的去离子水的去离子水输出管路，通过所述连接件将其固定在所述第二T型输送管路的一接口。
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