[实用新型]一种真空沉积聚对二甲苯膜的恒速蒸发腔体

摘要

本实用新型主要涉及真空沉积防水膜装置制作领域，尤其涉及真空沉积聚对二甲苯膜的恒速蒸发腔体制作领域。一种真空沉积聚对二甲苯膜的恒速蒸发腔体，包括一恒速蒸发腔体，所述恒速蒸发腔体内设有一仅底面与恒速蒸发腔体接触的聚对二甲苯靶管，所述聚对二甲苯靶管包括一由重力压缩聚对二甲苯粉末而成的聚对二甲苯靶材、一循环水冷却系统、靶管上盖和靶管下盖，所述循环水冷却系统设在所述聚对二甲苯靶材的内部，所述靶管上盖和靶管下盖分别设于聚对二甲苯靶材和循环水冷却系统的上下方，所述聚对二甲苯靶管外侧套有一电磁辐射加热圆筒。本实用新型可保持稳定的升华量，且可很好地解决加热滞后性的问题，还可防止聚对二甲苯粉末被抽到沉积室内。

主权项

一种真空沉积聚对二甲苯膜的恒速蒸发腔体，其特征在于：包括一恒速蒸发腔体，所述恒速蒸发腔体内设有一仅底面与恒速蒸发腔体接触的聚对二甲苯靶管，所述聚对二甲苯靶管包括一由重力压缩聚对二甲苯粉末而成的聚对二甲苯靶材、一循环水冷却系统、靶管上盖和靶管下盖，所述循环水冷却系统设在所述聚对二甲苯靶材的内部，所述靶管上盖和靶管下盖分别设于聚对二甲苯靶材和循环水冷却系统的上下方，所述聚对二甲苯靶管外侧套有一电磁辐射加热圆筒。