[实用新型]真空泵抽气装置有效
| 申请号： | 201420185209.5 | 申请日： | 2014-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN203796528U | 公开（公告）日： | 2014-08-27 |
| 发明（设计）人： | 周诗铎;王杨;秦国强;赵庆;边逸军 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | F04B39/12 | 分类号： | F04B39/12 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 吴俊 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种真空泵抽气装置，应用于半导体器件的制备工艺中，该装置包括：至少一机台、管道和若干真空泵；每个机台均通过管道分别与若干真空泵连，以进行抽气操作；其中，与管道连接的真空泵的数量大于机台的数量；该装置在半导体器件的制备工艺中，有效的防止了由于真空泵故障而导致气体反灌造成反应管内的晶圆表面落尘量超标现象，从而提高了制备的半导体器件的质量，且降低了真空泵发生故障对制备工艺的影响，并大大延长了真空泵的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 装置 | ||
【主权项】：
一种真空泵抽气装置，应用于半导体器件的制备工艺中，其特征在于，所述装置包括：至少一机台、管道和若干真空泵；每个所述机台均通过所述管道分别与所述若干真空泵相连，以进行抽气操作；其中，与所述管道连接的真空泵的数量大于所述机台的数量。
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