[实用新型]一种薄悬臂梁压阻式加速度计有效
| 申请号： | 201420207801.0 | 申请日： | 2014-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN203909066U | 公开（公告）日： | 2014-10-29 |
| 发明（设计）人： | 付博 | 申请（专利权）人： | 无锡壹资半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市无锡国家高新技术产业开发*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种薄悬臂梁压阻式加速度计，该薄悬臂梁压阻式加速度计包括玻璃、顶硅、底硅、氧化层；玻璃上表面有顶硅，顶硅与玻璃之间通过阳极键合，顶硅和底硅之间设置有氧化层。本实用新型的薄悬臂梁压阻式加速度计，由于SOI衬底中间有氧化层，所以腐蚀深度可控制的十分精确，从而大幅度提高其性能，可以大幅度减小芯片尺寸，同时不会带来污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 悬臂梁 压阻式 加速度计 | ||
【主权项】：
一种薄悬臂梁压阻式加速度计，其特征在于，所述的薄悬臂梁压阻式加速度计包括底硅、氧化层、顶硅、玻璃，所述的玻璃上表面有顶硅，顶硅与玻璃之间通过阳极键合，顶硅和底硅之间有氧化层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡壹资半导体科技有限公司，未经无锡壹资半导体科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201420207801.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：锯床用定位治具
- 下一篇：一种用于夹持产品内圈的圆夹头
