[实用新型]一种用于晶圆的存储腔装置

摘要

本实用新型提供一种用于晶圆的存储腔装置，存储腔及位于该存储腔底部并由底柱支撑的底层托盘以及位于该底层托盘上的至少一层上层托盘；上层托盘由设置在底层托盘上的至少两个支柱支撑；底层和上层托盘上表面的左右两边分别设有至少两个曲孔；每个曲孔中卡有高于所述托盘上表面的曲钉；每一边的曲钉连接为一体；上层托盘中的曲孔通过支柱与位于其下层的托盘的曲孔贯通；底层托盘的曲孔通过底柱以及存储腔底部与连接在存储腔外部的一抽气管贯通。本实用新型将曲钉卡在曲孔中，同时将托盘表面左右两边的曲钉分别设为整体，防止托盘震动使曲钉脱落；同时增加曲孔与抽气管之间贯通的路径，将摩擦产生的颗粒吸走，极大地提高了产品制造的良率。

主权项

一种用于晶圆的存储腔装置，其特征在于，所述用于晶圆的存储腔装置至少包括：存储腔及位于该存储腔底部并采用底柱支撑的底层托盘以及位于该底层托盘上的至少一层上层托盘；所述上层托盘由设置在所述底层托盘上的至少两个支柱支撑；所述底层和上层托盘上表面的左右两边分别设有至少两个曲孔；所述每个曲孔中卡有高于该托盘上表面的曲钉；所述左右两边每一边的所述曲钉相互连接为一体；上层托盘中的所述曲孔通过所述支柱与位于其下层的托盘的曲孔贯通；所述底层托盘的曲孔通过所述底柱以及所述存储腔底部与连接在所述存储腔外部的一抽气管贯通。