[实用新型]测试探针台有效
| 申请号： | 201420235134.7 | 申请日： | 2014-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN203811645U | 公开（公告）日： | 2014-09-03 |
| 发明（设计）人： | 张程 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种测试探针台，包括承载台以及两个探针卡，所述承载台的上表面和下表面均固定有晶圆，所述探针卡分别位于所述承载台的两侧，以对所述承载台上表面和下表面固定的晶圆进行测试；通过在承载台的下表面上固定晶圆以及设置探针卡，在一台测试探针台上可以同时测试两片晶圆，提高了晶圆的测试效率，同时提高了闲置探针卡的利用率；另外，所述的测试探针台可以在现有的测试探针台的基础上进行硬件改进，无需购买新的装置，节约了成本，并且需要改动的地方少，减少了故障率，提高了可行性。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 探针 | ||
【主权项】：
一种测试探针台，其特征在于，包括承载台以及两个探针卡，所述承载台的上表面和下表面均固定有晶圆，所述探针卡分别位于所述承载台的两侧，以对所述承载台上表面和下表面固定的晶圆进行测试。
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