[实用新型]一种用于制备抗PID薄膜的装置

摘要

一种用于制备抗PID薄膜的装置，包括臭氧发生器和箱体，箱体内具有密闭的容置空间；臭氧发生器具有出气口、进气口和注气口；所述臭氧发生器的出气口通过进气管与容置空间连通，所述臭氧发生器的进气口通过排气管与容置空间连通；臭氧发生器的注气口处设有注气管；所述容置空间内设有第一均流板、载片板和第二均流板，所述第一均流板和第二均流板上开设有均流孔；还设有置换气体进气管，置换气体进气管与所述容置空间连通。本实用新型可以快速高效地制备抗PID薄膜，无臭氧泄漏，适用于所有现有常规太阳能电池片生产线，且具有良好的可操作性、实用性，适于推广应用。

主权项

一种用于制备抗PID薄膜的装置，其特征在于：包括臭氧发生器和箱体，箱体内具有密闭的容置空间；所述箱体侧面设有门；所述臭氧发生器具有出气口、进气口和注气口；所述臭氧发生器的出气口通过进气管与容置空间连通，所述臭氧发生器的进气口通过排气管与容置空间连通；臭氧发生器的注气口处设有注气管；所述容置空间内设有第一均流板、载片板和第二均流板，所述第一均流板和第二均流板上开设有均流孔；所述载片板上开设有气孔；还设有置换气体进气管，置换气体进气管与所述容置空间连通。