[实用新型]硅片化镀处理用摆动装置

摘要

本实用新型涉及硅片化镀处理装置领域，具体涉及一种硅片化镀处理用摆动装置。硅片化镀处理用摆动装置，它包括机架、转轮、旋转电机、机械手、机械手臂、硅片花篮和化镀处理槽，机架上端装有旋转电机，转轮连接在旋转电机的转轴上，转轮圆心一侧连接机械手臂上端，机械手臂下端设计装有机械手，机械手抓在硅片花篮的提手上，硅片花篮位于化镀处理槽内，机架下端是化镀处理槽。优点是设计简单，使用方便，无需人工，工作效率高，且安全可靠，硅片表面镀镍、镀金均匀；机械手的结构设计能够把硅片花篮有效地抓紧，防止工作过程中花篮脱落；转轮与机械臂偏心连接设计，使硅片花篮均匀摆动。

主权项

硅片化镀处理用摆动装置，它包括机架、转轮、旋转电机、机械手、机械手臂、硅片花篮和化镀处理槽，其特征是机架上端装有旋转电机，转轮连接在旋转电机的转轴上，转轮圆心一侧连接机械手臂上端，机械手臂下端设计装有机械手，机械手抓在硅片花篮的提手上，硅片花篮位于化镀处理槽内，机架下端是化镀处理槽。