[实用新型]气刀干燥装置和基板干燥系统有效

专利信息
申请号: 201420252917.6 申请日: 2014-05-16
公开(公告)号: CN203810877U 公开(公告)日: 2014-09-03
发明(设计)人: 刘晓伟;刘耀;李梁梁;丁向前;董志学;郭总杰 申请(专利权)人: 北京京东方显示技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司
主分类号: F26B21/00 分类号: F26B21/00;H01L21/67
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 李迪
地址: 100176 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型涉及显示技术领域,公开了一种气刀干燥装置和基板干燥系统,包括机架、风机、分别固定在所述机架上的上气刀和下气刀,所述风机为所述上气刀和下气刀供气,所述上气刀的出气口和下气刀的出气口位置相对,但二者宽度不同。本实用新型上气刀的出气口和下气刀的出气口的宽度不同,形成不对称的气刀结构,吹出的气流与基板形成面接触,使得上、下气刀不易发生错位现象,即使上下气刀发生较小的错位,也不至于形成玻璃起伏而导致破片现象,因此,可以减少因气刀错位而导致的玻璃破片的问题,同时,面接触的气流还可以减少水汽和颗粒回流现象,可提高产品良率。
搜索关键词: 干燥 装置 系统
【主权项】:
一种气刀干燥装置,包括机架、风机、分别固定在所述机架上的上气刀和下气刀,所述风机为所述上气刀和下气刀供气,其特征在于,所述上气刀的出气口和下气刀的出气口位置相对,但二者宽度不同。
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