[实用新型]线性磁控溅射阴极均匀供气系统管路有效
| 申请号： | 201420253843.8 | 申请日： | 2014-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN203960321U | 公开（公告）日： | 2014-11-26 |
| 发明（设计）人： | 郭爱云 | 申请（专利权）人： | 红安华州光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 438400 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种线性磁控溅射阴极均匀供气系统管路，包括供气底管路座、供气管路盖板、一级分气管路、二级分气管路、三级分气管路、四级分气管路和缓冲布气装置，所述一级分气管路分为两路，所述二级分气管路为一路分为两路的分路构成，所述三级分气管路为一路分为两路的分路构成，所述四级分气管路为一路分为两路的分路构成，多路所述四级分气管路分别连接多个缓冲布气装置。本实用新型提供了一种线性磁控溅射阴极均匀供气系统管路，采用了多级一分二均气装置，达到了多次均匀分气的效果，同时采用缓冲布气装置将进入真空室内的溅射工作气体和工艺气体进行均匀分布可以实现气体的有效均匀分布和均匀控制。 | ||
| 搜索关键词： | 线性 磁控溅射 阴极 均匀 供气 系统 管路 | ||
【主权项】：
线性磁控溅射阴极均匀供气系统管路，包括供气底管路座和供气管路盖板，其特征在于：还包括一级分气管路、二级分气管路、三级分气管路、四级分气管路和缓冲布气装置，所述一级分气管路分为两路，所述二级分气管路为一路分为两路的分路构成，所述三级分气管路为一路分为两路的分路构成，所述四级分气管路为一路分为两路的分路构成，多路所述四级分气管路分别连接多个缓冲布气装置。
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