[实用新型]磨轮结构及研磨设备有效
| 申请号： | 201420258867.2 | 申请日： | 2014-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN203887678U | 公开（公告）日： | 2014-10-22 |
| 发明（设计）人： | 王贤超 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/11 | 分类号： | B24B37/11;B24B37/04 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提出了一种磨轮结构，包括轮体和若干间隔排列的研磨齿，所述研磨齿的底部固定于轮体上，所述研磨齿的顶面和侧面的夹角大于90°。由于所述研磨齿的边角较钝，进行打磨时可减少碎片的产生，避免对晶圆造成损伤。并且，研磨齿顶面之间的间距大于研磨齿底面之间的间距，即便有碎片产生，碎片也可容易的从研磨齿间隙中排出，避免碎片残留在晶圆上形成缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 结构 研磨 设备 | ||
【主权项】：
一种磨轮结构，包括轮体和若干间隔排列的研磨齿，所述研磨齿的底部固定于所述轮体上，其特征在于，所述研磨齿的顶面和侧面的夹角大于90°。
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