[实用新型]一种MEMS麦克风

摘要

本实用新型公开了一种MEMS麦克风，包括由第一线路板和中间位置向内凹陷形成凹槽的第二线路板组成的封装结构，封装结构内部设置有MEMS芯片和ASIC芯片，第一线路板上设置有声孔，第二线路板表面设有与外部电连接的焊盘，第一线路板和所述第二线路板之间通过导电材料实现电连接，所述第二线路板的所述凹槽内壁表面的金属层上设有绝缘层，可以有效防止导电材料高温熔化后对麦克风声腔内部芯片的污染，提高MEMS麦克风产品的性能。第二线路板内部设有导电线路，焊盘与导电线路之间设有导电焊盘，导电焊盘为长形结构，便于操作者涂刷导电胶，有效减小了操作难度。本实用新型MEMS麦克风具有制造工艺简单，减少了操作难度，能够提高产品性能的优点。

主权项

一种MEMS麦克风，包括一个封装结构，所述封装结构包括第一线路板和第二线路板，所述封装结构内部所述第一线路板上设置有MEMS芯片及ASIC芯片，所述第一线路板上所述MEMS芯片正对的位置设置有声孔，所述封装结构外部所述第二线路板表面设有与外部电连接的焊盘，其特征在于：所述第二线路板中间位置向内凹陷形成凹槽，所述第一线路板覆盖所述凹槽并与所述第二线路板结合形成所述封装结构；所述第二线路板的所述凹槽内壁设置有金属屏蔽层，在所述金属层的表面设有绝缘层。