[实用新型]一种镀膜机

摘要

本实用新型涉及一种镀膜机，包括真空室，所述的真空室内设置有周向旋转的基座，该基座上设置有多层行星式工件架，该行星式工件架包括底盘、若干片工件片及转动轴，所述的底盘的中心设置有第一通孔，转动轴从第一通孔穿过，底盘上设置有若干相互独立的第二通孔，且各第二通孔绕第一通孔周向分布，各工件片位于相应的第二通孔内，且各工件片可绕第二通孔旋转，该转动轴上套设有第一斜齿轮，各工件片上设置有与第一斜齿轮相啮合的第二斜齿轮；本实用新型在于：该结构的工件片在转动轴的驱动下，会沿竖直方向转动，从而带动被镀膜物也会竖直方向转动，在配合轴向转动的基座，从而实现了被镀膜物空间上的旋转，大大提高了镀膜效果，结构布局合理。

主权项

一种镀膜机，包括真空室、用于使真空罩内部保持真空状态的真空系统及蒸发源，该蒸发源设置于真空室内部，该真空系统包括辅助泵、扩散泵及机械泵，该机械泵包括泵体、定子及转子，所述的定子固定连接于泵体内，定子与泵体之间灌满油，定子内部设置有圆柱状定子腔，转子位于该定子腔内，转子可转动的连接于定子上，其特征在于：所述的真空室内设置有周向旋转的基座，该基座上设置有多层行星式工件架，该行星式工件架包括底盘、若干片工件片及转动轴，所述的底盘的中心设置有第一通孔，转动轴从第一通孔穿过，底盘上设置有若干相互独立的第二通孔，且各第二通孔绕第一通孔周向分布，各工件片位于相应的第二通孔内，且各工件片可绕第二通孔旋转，该转动轴上套设有第一斜齿轮，各工件片上设置有与第一斜齿轮相啮合的第二斜齿轮。