[实用新型]一种带有真空稳压装置的切割系统有效
申请号: | 201420295863.1 | 申请日: | 2014-06-05 |
公开(公告)号: | CN203973353U | 公开(公告)日: | 2014-12-03 |
发明(设计)人: | 刘思佳 | 申请(专利权)人: | 苏州凯锝微电子有限公司 |
主分类号: | B24B27/06 | 分类号: | B24B27/06;B24B41/00 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种带有真空稳压装置的切割系统,包括切割机、抽真空设备以及连通切割机和抽真空设备的真空稳压装置,真空稳压装置包括中空且密封的壳体,壳体上设有与真空吸附件连通的进气口,与抽真空设备连通的出气口,以及位于进气口和出气口下方的出水口,壳体具有一倾斜的侧壁,在进气口下方形成导流面。本实用新型切割系统,特别添加真空稳压装置,使得由进气口进入的冷却液能够在重力作用下下落与气体分离,从而由下方出水口排出。不仅结构简单,加工方便,而且能够利用液体本身的属性达到稳压的目的,无其它能源消耗,成本较低,稳压效果明显,可大大提高切割系统的切割质量。尤其设置导流面可引导冷却液快速下落排出,增强稳压效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 带有 真空 稳压 装置 切割 系统 | ||
【主权项】:
一种带有真空稳压装置的切割系统,包括切割机以及与切割机相连的抽真空设备,所述抽真空设备与切割机的一真空吸附件连通,其特征是,还包括连通所述切割机和抽真空设备的真空稳压装置,所述真空稳压装置包括中空且密封的箱状、筒状或管状的壳体,所述壳体上设有与所述真空吸附件连通的进气口,与所述抽真空设备连通的出气口,以及位于所述进气口和出气口下方的出水口,所述壳体具有一倾斜的侧壁,在所述进气口下方形成导流面。
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