[实用新型]用于制备抗PID薄膜的装置

摘要

一种用于制备抗PID薄膜的装置，包括臭氧发生器和箱体，箱体内具有密闭的容置空间；所述箱体侧面设有门；所述门的底部与箱体铰接；门和箱体之间设有开门限位器，使门打开的角度为45~90度；所述门的内表面设有至少1对支架，所述支架与小花篮配合，使小花篮挂设于支架上，且关门时小花篮在箱体内处于竖直状态。本实用新型装置适用于目前采用干法刻蚀的太阳能电池片生产线，该装置可以直接对装载在小花篮里面的硅片进行处理，无需任何附加的上下片操作，因此不会增加碎片风险。

主权项

一种用于制备抗PID薄膜的装置，其特征在于：包括臭氧发生器和箱体(1)，箱体内具有密闭的容置空间；所述箱体侧面设有门(2)；所述箱体的顶部设有进气孔，底部设有排气孔；所述门的底部与箱体铰接；门和箱体之间设有开门限位器(3)，使门打开的角度为45~90度；所述门的内表面设有至少1对支架(4)，所述支架与小花篮(5)配合，使小花篮挂设于支架上，且关门时小花篮在箱体内处于竖直状态。