[实用新型]热喷涂旋转靶材冷却装置有效
申请号: | 201420334956.0 | 申请日: | 2014-06-20 |
公开(公告)号: | CN203947150U | 公开(公告)日: | 2014-11-19 |
发明(设计)人: | 胡习光;秦国强;张志祥;常金永 | 申请(专利权)人: | 江阴恩特莱特镀膜科技有限公司 |
主分类号: | C23C4/12 | 分类号: | C23C4/12 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人: | 殷红梅 |
地址: | 214437 江苏省无锡市江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型属于冷却设备领域,涉及靶材生产过程中使用的辅助装置,具体地说是一种热喷涂旋转靶材冷却装置,包括出水内套,所述出水内套一侧端部连接有衬管,出水内套的进水端连接有进水内套,所述进水内套端部密封连接有装夹端头;进水外套通过第一轴承、第二轴承转动支承于所述进水内套圆周面上,所述进水外套的圆周面上固定有进水管,所述进水内套在转动过程中对应于进水管底部一圈圆周面上设有若干进水口。本实用新型产品结构简单、构思巧妙合理,可以实现在冷却装置的同一端进水和出水,有效减轻旋转靶材在旋转中承受的重量,并且在生产过程中可以达到均匀的温度,不会因温度而造成成品率下降。 | ||
搜索关键词: | 喷涂 旋转 冷却 装置 | ||
【主权项】:
一种热喷涂旋转靶材冷却装置,其特征在于:包括出水内套(1),所述出水内套(1)一侧端部连接有衬管(8),出水内套(1)的进水端连接有进水内套(6),所述进水内套(6)端部密封连接有装夹端头(7);进水外套(5)通过第一轴承(11)、第二轴承(12)转动支承于所述进水内套(6)圆周面上,所述进水外套(5)的圆周面上固定有进水管(4),所述进水内套(6)在转动过程中对应于进水管(4)底部一圈圆周面上设有若干进水口(15);所述出水内套(1)圆周面上通过第三轴承(13)、第四轴承(14)转动支承有出水外套(2),所述出水外套(2)圆周面上固定有出水管(3),出水内套(1)在转动过程中对应于出水管(3)底部一圈圆周面上设有若干出水口(16);所述衬管(8)外侧端部固定有端盖(17),空心轴(9)末端通过紧固螺母(19)固定于端盖(17)上,所述端盖(17)外侧还固定有密封端头(10)。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法,例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理,例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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