[实用新型]高纯平面铝钕靶的制作装置有效
| 申请号： | 201420335124.0 | 申请日： | 2014-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN203947156U | 公开（公告）日： | 2014-11-19 |
| 发明（设计）人： | 胡习光;秦国强;常金永;张志祥 | 申请（专利权）人： | 江阴恩特莱特镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;B22D21/04 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人： | 殷红梅;刘海 |
| 地址： | 214437 江苏省无锡市江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种高纯平面铝钕靶的制作装置，包括真空炉体外壳，在真空炉体外壳的内部设置炉体，炉体上部设置炉盖；特征是：所述炉体包括炉胆和设置在炉胆外表面的保温层，在炉胆的内壁设置电炉丝，在炉胆的底部设置冷却底座，冷却底座的上放置模具，冷却底座的上表面呈锯齿状，在冷却底座上设置冷却水通道，冷却水通道两端分别与冷却水进水管和冷却水出水管连接；在所述炉盖上设置通气孔，在真空炉体外壳的顶部设置通气管，在真空炉体外壳的中部设置抽气管。本实用新型所述高纯平面铝钕靶的制作装置，可以生产得到晶粒取向一致的铝钕靶，在真空磁控溅射时可以得到更加均匀的膜层。 | ||
| 搜索关键词： | 高纯 平面 铝钕靶 制作 装置 | ||
【主权项】：
一种高纯平面铝钕靶的制作装置，包括真空炉体外壳（9），在真空炉体外壳（9）的内部设置炉体（2），炉体（2）上部设置炉盖（1）；其特征是：所述炉体（2）包括炉胆（5）和设置在炉胆（5）外表面的保温层（4），在炉胆（5）的内壁设置电炉丝（12），在炉胆（5）的底部设置冷却底座（16），冷却底座（16）的上放置模具，冷却底座（16）的上表面呈锯齿状，在冷却底座（16）上设置冷却水通道，冷却水通道两端分别与冷却水进水管（6）和冷却水出水管（13）连接；在所述炉盖（1）上设置通气孔（7），在真空炉体外壳（9）的顶部设置通气管（15），在真空炉体外壳（9）的中部设置抽气管（11）。
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