[实用新型]一种均匀布光的曝光机有效
| 申请号： | 201420370583.2 | 申请日： | 2014-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN203941382U | 公开（公告）日： | 2014-11-12 |
| 发明（设计）人： | 王满根 | 申请（专利权）人： | 宁波东盛集成电路元件有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 杜军 |
| 地址： | 315806 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种均匀布光的曝光机。现有曝光机会导致光照强度不均匀，导致产品缺陷。本实用新型包括：曝光平台，用以放置待曝光金属片材；复数个发光部件，通过支撑结构均布于所述曝光平台上方；复数个光强传感器，均布于所述曝光平台上；控制器，分别连接复数个光强传感器及复数个发光部件，用以根据所述光强传感器的感应结果分别独立的控制复数个发光部件的发光强度。本实用新型根据待曝光金属片材的光环境调整发光部件的发光强度；光强传感器的感光部通过待曝光金属片材上的预制通孔进行感应，获得的感应结果更精确；独立的控制均布于曝光平台上方的多个发光部件的发光强度，使多个发光部件发出的光均匀的照射曝光平台。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 均匀 曝光 | ||
【主权项】：
一种均匀布光的曝光机，用于金属片材曝光，其特征在于，包括：曝光平台，用以放置待曝光金属片材；复数个发光部件，通过支撑结构均布于所述曝光平台上方；复数个光强传感器，均布于所述曝光平台上；控制器，分别连接复数个光强传感器及复数个发光部件，用以根据所述光强传感器的感应结果分别独立的控制复数个发光部件的发光强度。
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