[实用新型]一种晶圆机械臂有效
| 申请号： | 201420379241.7 | 申请日： | 2014-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN204183569U | 公开（公告）日： | 2015-03-04 |
| 发明（设计）人： | 林清华;黄金顺 | 申请（专利权）人： | 无锡易比达半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J18/00 | 分类号： | B25J18/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 邵骅 |
| 地址： | 214000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公布了一种晶圆机械臂，用于承托吸附晶圆，其特征在于：所述机械臂包括内部具有真空腔体的铝合金平板，所述真空腔体开口于所述铝合金平板上表面；所述铝合金平板下表面通过金属箔片密封其真空腔体。本实用新型采用金属箔片密封真空腔体，只用了一片铝合金平板，节约了材料用量。单片铝合金平板金属箔片密封真空腔体，不需要焊接，减少了因焊接而产生的变形，一体成型的机械臂平整度更高。采用单片铝合金平板后，单片铝合金平板厚度可以适当增加，而不会影响机械臂的整体厚度。加厚的单片铝合金平板也便于加工。采用单片铝合金平板金属箔片密封真空腔体，减少了材料用量，省略了焊接程序，总体的制作成本降低将近70%。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机械 | ||
【主权项】：
一种晶圆机械臂，用于承托吸附晶圆，其特征在于：所述机械臂包括内部具有真空腔体的铝合金平板，所述真空腔体开口于所述铝合金平板上表面；所述铝合金平板下表面通过金属箔片密封其真空腔体。
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