[实用新型]一种靶材组件有效
| 申请号： | 201420387187.0 | 申请日： | 2014-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN204162777U | 公开（公告）日： | 2015-02-18 |
| 发明（设计）人： | 李晨光 | 申请（专利权）人： | 南昌欧菲光科技有限公司;深圳欧菲光科技股份有限公司;苏州欧菲光科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 330013 江西省南昌*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种靶材组件，包括靶材、背板及导磁片，所述靶材与所述背板层叠设置，所述导磁片设置于所述靶材与所述背板之间，且所述导磁片至少部分嵌于所述背板中，所述靶材采用矩形平面靶材。本实用新型的靶材组件通过设置导磁片，使得磁控溅射过程中的磁场分布均匀，靶材的蚀刻速率一致，从而延长矩形平面靶材使用寿命，降低生产成本，提高靶材的使用效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 组件 | ||
【主权项】：
一种靶材组件，其特征在于：包括靶材、导磁片、背板及承载板，所述靶材与承载板层叠设置于所述背板的两侧，所述承载板设有承载板顶面，所述导磁片设有导磁片顶面，所述导磁片的导磁片顶面与所述承载板的承载板顶面平齐，且所述导磁片顶面贴紧所述背板。
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