[实用新型]半导体清洗机台的加热系统有效
| 申请号： | 201420413149.8 | 申请日： | 2014-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN204074670U | 公开（公告）日： | 2015-01-07 |
| 发明（设计）人： | 倪惠彬 | 申请（专利权）人： | 映瑞光电科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;B08B3/10 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201306 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提出了一种半导体清洗机台的加热系统，包括：若干个片加热片，加热片两个一组并联后再将并联的多组串联组成加热片组，加热片组外接电源。将若干个加热片中的任意两个一组并联，再将并联的多个组串联从而组成加热片组，减小单个加热片的负荷，延长加热片的使用寿命，进而降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 清洗 机台 加热 系统 | ||
【主权项】：
一种半导体清洗机台的加热系统，其特征在于，包括：若干个片加热片，所述加热片两个一组并联后再将并联的多组串联组成加热片组，所述加热片组外接电源。
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