[实用新型]一种新型扩散炉

摘要

本实用新型提供一种新型扩散炉，包括炉门、及与炉门相连的炉体，所述炉门上设有与炉体内腔相通的进气装置，所述炉体内设有用于放置硅片的石英舟，所述石英舟上缠绕有螺旋管，所述螺旋管上设有送气孔，所述炉体内还设有排气管，所述排气管上设有若个排气孔排气管的另一端穿出炉体侧壁上的出气孔，且该端的排气管与尾气管道相连，所述进气装置包括储气箱体、进气管道，所述储气箱体上端设有出口，该出口处与波纹管相连，所述波纹管另一端与炉体内的螺旋管相连，出气孔处炉体的侧壁上设有设有排风管。本实用新型的有益效果是：设置进气装置，在进气之前，将气体充分混合，保证了反应的均匀性，更好的改善了扩散方阻的均匀性。

主权项

一种新型扩散炉，其特征在于：包括炉门、及与炉门相连的炉体，所述炉门上设有与炉体内腔相通的进气装置，所述炉体内设有用于放置硅片的石英舟，所述石英舟上缠绕有螺旋管，所述螺旋管上设有送气孔，所述送气孔设在靠近硅片侧，所述炉体内还设有排气管，所述排气管上设有若个排气孔，排气孔为朝向石英舟上的硅片，伸入炉体内腔的排气管端为封闭的，排气管的另一端穿出炉体侧壁上的出气孔，且该端的排气管与尾气管道相连，所述进气装置包括储气箱体、进气管道，所述储气箱体的下端设有3个通向大气的进气管道，进气管道上设有若干个孔，所述储气箱体上端设有出口，该出口处与波纹管相连，所述波纹管另一端与炉体内的螺旋管相连，出气孔处炉体的侧壁上设有设有排风管，所述排风管上至少开设有一个进风口，所述排风管上的出气口与抽风机相连。