[实用新型]一种MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201420430271.6 | 申请日： | 2014-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN204014056U | 公开（公告）日： | 2014-12-10 |
| 发明（设计）人： | 蔡孟锦 | 申请（专利权）人： | 歌尔声学股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种MEMS麦克风，包括：基底，所述基底设置有贯穿所述基底的声腔；第一绝缘层，所述第一绝缘层设置在所述基底正面，且位于所述声腔四周；振膜，所述振膜设置在所述第一绝缘层表面，且覆盖与所述声腔相对的区域；第二绝缘层，所述第二绝缘层设置在所述振膜与所述第一绝缘层相对区域的表面；背极，所述背极设置在所述第二绝缘层的表面，且覆盖所述振膜与所述声腔相对的区域，所述背极与所述振膜不接触；振膜的振动区域包括：加强筋区域以及包围所述加强筋区域的纹膜区域；所述加强筋区域设置有与所述振动区域径向平行的加强筋；所述纹膜区域设置有多个间隔分布的环状纹膜凹槽。所述MEMS麦克风的振膜与背极之间的声压均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 麦克风 | ||
【主权项】：
一种MEMS麦克风，其特征在于，包括：基底，所述基底设置有贯穿所述基底的声腔；第一绝缘层，所述第一绝缘层设置在所述基底正面，且位于所述声腔四周；振膜，所述振膜设置在所述第一绝缘层表面，且覆盖与所述声腔相对的区域；第二绝缘层，所述第二绝缘层设置在所述振膜与所述第一绝缘层相对区域的表面；背极，所述背极设置在所述第二绝缘层的表面，且覆盖所述振膜与所述声腔相对的区域，所述背极与所述振膜不接触；其中，所述振膜的振动区域包括：加强筋区域以及包围所述加强筋区域的纹膜区域；所述加强筋区域设置有与所述振动区域径向平行的加强筋；所述纹膜区域设置有多个间隔分布的环状纹膜凹槽。
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