[实用新型]一种MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201420430445.9 | 申请日： | 2014-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN204031450U | 公开（公告）日： | 2014-12-17 |
| 发明（设计）人： | 蔡孟锦 | 申请（专利权）人： | 歌尔声学股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种MEMS麦克风，包括：基底；贯穿所述基底的声腔；设置在所述基底正面，位于所述声腔四周的第一绝缘层；设置在所述第一绝缘层表面，且覆盖与所述声腔相对的区域的设定形状的背极；设置在所述背极表面与所述第一绝缘层相对区域的第二绝缘层；设置在所述第二绝缘层表面，且覆盖所述背极与所述声腔相对区域的振膜，所述振膜形状与所述背极形状相匹配；其中，所述振膜的振动区域包括：加强筋区域以及包围所述加强筋区域的纹膜区域；所述加强筋区域设置有与所述振动区域径向平行的加强筋；所述纹膜区域设置有纹膜。所述MEMS麦克风背极与振膜之间的声压均匀性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 麦克风 | ||
【主权项】：
一种MEMS麦克风，其特征在于，包括： 基底； 贯穿所述基底的声腔； 设置在所述基底正面，位于所述声腔四周的第一绝缘层； 设置在所述第一绝缘层表面，且覆盖与所述声腔相对的区域的设定形状的背极； 设置在所述背极表面与所述第一绝缘层相对区域的第二绝缘层； 设置在所述第二绝缘层表面，且覆盖所述背极与所述声腔相对区域的振膜，所述振膜形状与所述背极形状相匹配； 其中，所述振膜的振动区域包括：加强筋区域以及包围所述加强筋区域的纹膜区域；所述加强筋区域设置有与所述振动区域径向平行的加强筋；所述纹膜区域设置有纹膜。
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