[实用新型]一种机械手臂有效
| 申请号： | 201420470066.2 | 申请日： | 2014-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN204054067U | 公开（公告）日： | 2014-12-31 |
| 发明（设计）人： | 高剑鸣;张杨 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/00 | 分类号： | B25J15/00;B25J19/00;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种机械手臂，所述机械手臂包含U型插片，所述U型插片包含主体部、与所述主体部相连接的分叉端和位于所述主体部内的校正孔，所述主体部上开设有至少一个去除部；在所述U型插片上开设有去除部，可以减轻U型插片自身的重量，无需对U型插片固定方式进行调整，即可以解决由于U型插片自身重量过重而导致的机械手臂水平校准出现偏差的问题，避免了因调整U型插片固定方式而导致的机械手臂进入反应室的时候容易碰到反应室壁问题的发生；将所述去除部设置为多个，且分布成阵列结构，可以在减轻U型插片自身重量的同时，有效地保留其自身的强度，防止晶片置于U型插片上后，U型插片出现水平方向上的偏移。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机械 手臂 | ||
【主权项】：
一种机械手臂，用于传送半导体晶片，所述机械手臂包含U型插片，所述U型插片包含主体部、与所述主体部相连接的分叉端和位于所述主体部内的校正孔，其特征在于，所述主体部上设有至少一个挖除所述主体部部分材料形成的去除部。
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