[实用新型]一种多晶硅铸锭炉中的防倒吸装置

摘要

本实用新型提供了一种多晶硅铸锭炉中的防倒吸装置，属于机械技术领域。它解决了现有技术中不能够防止抽取出来的杂质被倒吸回提纯装置中等问题。本多晶硅铸锭炉中的防倒吸装置，多晶硅铸锭炉包括密闭的炉体，炉体内固定有坩埚，炉体开设有通气孔一，坩埚开设有通气孔二，通气孔一的一端与通气孔二通过连接管相连，通气孔一的另一端还通过真空管与一真空泵相连；本防倒吸装置包括单向阀、收集箱一和收集箱二，单向阀设置在真空管上，收集箱一通过安装管一与真空管相连通，收集箱二通过安装管二与真空管相连通。本实用新型能够防止抽取出来的杂质再次倒吸回流到炉体坩埚内。

主权项

一种多晶硅铸锭炉中的防倒吸装置，所述的多晶硅铸锭炉包括密闭的炉体，所述的炉体内固定有用于溶解多晶硅铸锭的坩埚，炉体与坩埚之间形成空腔，其特征在于，所述的炉体的侧壁上开设有通气孔一，所述的坩埚的侧壁上开设有通气孔二，通气孔一的一端与通气孔二之间通过连接管密封相连，通气孔一的另一端还通过真空管与一真空泵相连，本防倒吸装置设置在真空管上，包括单向阀、收集箱一和收集箱二，所述的单向阀设置在真空管上，所述的收集箱一通过安装管一与真空管相连通，安装管一与真空管之间的连接口处于通气孔一与单向阀之间，所述的收集箱二通过安装管二与真空管相连通，安装管二与真空管之间的连接口处于真空泵与单向阀之间。