[实用新型]一种高纯气体重量法配气装置有效
申请号: | 201420499200.1 | 申请日: | 2014-09-01 |
公开(公告)号: | CN204062497U | 公开(公告)日: | 2014-12-31 |
发明(设计)人: | 胡树国 | 申请(专利权)人: | 中国计量科学研究院 |
主分类号: | F17D3/12 | 分类号: | F17D3/12;F17D1/04 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 张海英;胡彬 |
地址: | 100013 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型涉及气体制备和气体计量技术应用领域,尤其涉及一种高纯气体重量法配气装置。第一进气口、第一截止阀与第二进气口、第二截止阀并联连接,第五截止阀、第六截止阀、第七截止阀、第八截止阀并联连接后的管路一端连接第一截止阀、第二截止阀构成的管路,另一端连接第九截止阀、第十三截止阀通过管路并联连接的管路,第九截止阀与排气口连接,第五截止阀、第六截止阀、第七截止阀后均接有孔板流量计,第十三截止阀与气体出口连接,真空系统通过第三截止阀、第四截止阀接入第八截止阀管路靠近气瓶的一侧,电子高真空真空计与真空系统相连,电子压力计在第五节截止阀管路靠近第一截止阀的一端。本实用新型具有较高的气密性,降低了泄漏率。 | ||
搜索关键词: | 一种 高纯 气体 重量 法配气 装置 | ||
【主权项】:
一种高纯气体重量法配气装置,包括真空系统、电子高真空真空计(17)、电子压力计(18)、气路系统,气路系统中第一截止阀(1)与第一进气口(19)连接,第二截止阀(2)与第二进气口(20)相连,第一进气口(19)、第一截止阀(1)与第二进气口(20)、第二截止阀(2)通过管路并联连接,第五截止阀(5)、第六截止阀(6)、第七截止阀(7)、第八截止阀(8)通过管路并联连接后的总管路一端连接第一阀(1)、第二截止阀(2)所在的管路,另一端连接第九截止阀(9)、第十三截止阀(13)通过管路并联连接的管路,第九截止阀(9)所在管路连接气体排放口(21),第十三截止阀(13)与气体出口(22)连接,第十三截止阀(13)还与第十截止阀(10)、第十一截止阀(11)、第十二截止阀(12)并联连接,第十截止阀(10)、第十一截止阀(11)、第十二截止阀(12)分别连接吹扫口(23),真空系统通过阀与管路接入第八截止阀(8)管路靠近气瓶的一侧,所述电子高真空真空计(17)与真空系统所在的管路相连,电子压力计(18)与第五截止阀(5)所在的管路靠近第一截止阀(1)的一端相连,其特征在于:第五截止阀(5)、第六截止阀(6)、第七截止阀(7)所在管路靠近第十三截止阀(13)的一端分别接有孔板流量计。
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