[实用新型]用于高真空镀膜机锌炉加热器的冷却挡板有效

专利信息
申请号: 201420516189.5 申请日: 2014-09-09
公开(公告)号: CN204080095U 公开(公告)日: 2015-01-07
发明(设计)人: 束长青;朱永伦;钱泽友;俞群力 申请(专利权)人: 安徽铜峰电子股份有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24
代理公司: 合肥和瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 34118 代理人: 王挺
地址: 244000 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型涉及金属化膜的镀膜设备,公开了一种用于高真空镀膜机锌炉加热器的冷却挡板,挡板外壁上开有用来容纳铜管的呈盘形弯曲的安装槽,安装槽的进、出口设置在挡板侧壁上;安装槽内固定有铜管,铜管与安装槽壁采用锡料焊接固定,铜管的进、出口端沿安装槽进、出口位置延伸至挡板外部,铜管的进、出口端分别固定有管接头。选择在铝材挡板内安装铜管,具有耐腐蚀性好,使用寿命长的优点,不仅解决了冷却挡板组件因冷却水腐蚀水路而产生泄露问题,可提高镀膜机的开机利用率。
搜索关键词: 用于 真空镀膜 机锌炉 加热器 冷却 挡板
【主权项】:
用于高真空镀膜机锌炉加热器的冷却挡板,其特征在于:挡板(3)外壁上开有用来容纳铜管(4)的呈盘形弯曲的安装槽(5),安装槽(5)的进、出口设置在挡板(3)侧壁上;安装槽(5)内固定有铜管(4),铜管(4)与安装槽(5)壁采用锡料(6)焊接固定,铜管(4)的进、出口端沿安装槽(5)进、出口位置延伸至挡板(3)外部,铜管(4)的进、出口端分别固定有管接头(1、2)。
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