[实用新型]硅通孔金属柱背面互联结构有效
| 申请号： | 201420517436.3 | 申请日： | 2014-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN204216037U | 公开（公告）日： | 2015-03-18 |
| 发明（设计）人： | 丁万春 | 申请（专利权）人： | 南通富士通微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/525 | 分类号： | H01L23/525 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 孟阿妮;郭栋梁 |
| 地址： | 226006 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种硅通孔金属柱背面互联结构，包括：硅基板、锡球结构、多个硅通孔金属柱；所述硅通孔金属柱设置在所述硅基板中，并延伸至所述硅基板背面形成凸点；多个具有电连通关系的所述硅通孔金属柱对应的所述凸点在所述硅基板背面与一凸点下金属层连接；所述锡球结构环包设置在所述凸点下金属层上。本方案在硅通孔金属柱本体上，将露出硅基板背面的硅通孔金属柱作为凸点，在该凸点表面形成可焊接用的凸点下金属层，这种结构在外界压力下锡球焊点不易变形，产品性能稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 硅通孔 金属 背面 联结 | ||
【主权项】：
一种硅通孔金属柱背面互联结构，其特征在于，包括：硅基板、锡球结构、多个硅通孔金属柱；所述硅通孔金属柱设置在所述硅基板中，并延伸至所述硅基板背面形成凸点；多个具有电连通关系的所述硅通孔金属柱对应的所述凸点在所述硅基板背面与一凸点下金属层连接；所述锡球结构环包设置在所述凸点下金属层上。
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