[实用新型]可编程电子熔丝的测试结构有效
| 申请号： | 201420547278.6 | 申请日： | 2014-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN204214930U | 公开（公告）日： | 2015-03-18 |
| 发明（设计）人： | 李晓华;李煜 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01R19/00 | 分类号： | G01R19/00;G01R27/14 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种可编程电子熔丝的测试结构，包括：独立设置的第一测试子结构、第二测试子结构和第三测试子结构；其中，第三测试子结构包括第一可编程电子熔丝阵列、第一晶体管、第三测试焊盘、第四测试焊盘、第五测试焊盘和第六测试焊盘，第一晶体管的源极与第三测试焊盘连接，第一晶体管的栅极与第五测试焊盘连接，第一晶体管的漏极分别与第四测试焊盘和第六测试焊盘连接，第一可编程电子熔丝阵列设置于第一晶体管的漏极与第六测试焊盘之间。在本实用新型提供的可编程电子熔丝的测试结构中，采用可编程电子熔丝阵列代替单个可编程电子熔丝以实现了熔断电流的分流，在施加熔断电压时，可编程电子熔丝阵列中的可编程电子熔丝单元不会发生熔断，因此能够测得熔断电流。 | ||
| 搜索关键词： | 可编程 电子 测试 结构 | ||
【主权项】：
一种可编程电子熔丝的测试结构，其特征在于，包括：独立设置的第一测试子结构、第二测试子结构和第三测试子结构；其中，所述第三测试子结构包括第一可编程电子熔丝阵列、第一晶体管、第三测试焊盘、第四测试焊盘、第五测试焊盘和第六测试焊盘，所述第一晶体管的源极与所述第三测试焊盘连接，所述第一晶体管的栅极与所述第五测试焊盘连接，所述第一晶体管的漏极分别与所述第四测试焊盘和第六测试焊盘连接，所述第一可编程电子熔丝阵列设置于所述第一晶体管的漏极与所述第六测试焊盘之间。
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