[实用新型]一种ITO薄膜镀膜机

摘要

本实用新型公开了一种ITO薄膜镀膜机，包括镀膜机壳体，还包括在所述镀膜机壳体内依次设置的第一真空室、第二真空室及第三真空室；所述镀膜机壳体内还设置贯穿所述第一真空室、所述第二真空室及所述第三真空室、并可自由抽出所述镀膜机壳体的墙板；所述第一真空室与所述第二真空室之间固定设置有第一固定隔离板；所述第二真空室与所述第三真空室之间固定设置有第二固定隔离板；所述第二真空室还包括纵向设置的第一纵向加热装置；所述第三真空室还包括纵向设置的第二纵向加热装置；所述镀膜机壳体上固定设置有钛泵。由于将镀二氧化硅膜与镀氧化铟锡膜在不同真空室中完成，使其生产的产品质量高、均匀好、且镀膜机便于清洁、装膜和检修。

主权项

一种ITO薄膜镀膜机，包括镀膜机壳体，其特征在于，还包括：在所述镀膜机壳体内依次设置的用于放卷和预处理的第一真空室、用于镀二氧化硅薄膜的第二真空室及用于镀ITO薄膜及收卷的第三真空室；所述镀膜机壳体内还设置贯穿所述第一真空室、所述第二真空室及所述第三真空室、并可自由抽出所述镀膜机壳体的墙板；所述第一真空室与所述第二真空室之间固定设置有用于分隔真空室的第一固定隔离板；所述第二真空室与所述第三真空室之间固定设置有用于分隔真空室的第二固定隔离板；所述第二真空室还包括纵向设置的至少两个用于加热的第一纵向加热装置；所述第三真空室还包括纵向设置的至少一个用于加热的第二纵向加热装置；所述镀膜机壳体的近第一真空室侧的侧壁上固定设置有用于去除活性气体的钛泵。