[实用新型]一种单晶炉的停炉冷却装置有效
申请号: | 201420573455.8 | 申请日: | 2014-09-30 |
公开(公告)号: | CN204151452U | 公开(公告)日: | 2015-02-11 |
发明(设计)人: | 杨正华;张鑫;李强;潘永娥;王文华 | 申请(专利权)人: | 宁夏隆基硅材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06;F27D1/12 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人: | 罗笛 |
地址: | 755100 宁夏回*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | 本实用新型公开的一种单晶炉的停炉冷却装置,包括内部空心的炉盖,炉盖上分别设置有进水管、出水管和氩气进气管,进水管上设置有进水管阀门,出水管上设置有出水管阀门,氩气进气管上设置有氩气阀,炉盖的下表面通过两根导水管连接有冷却主体,冷却主体的下部连接有接触式冷却体,进水管、炉盖、导水管、冷却主体以及出水管依次连通构成冷却循环系统。本实用新型的一种单晶炉的停炉冷却装置解决了现有的单晶炉由于停炉降温速度慢使得停炉拆炉耗时较长的缺点,其缩短了停炉冷却降温时间,缩短了单晶炉运行工时、提高了设备利用率,减少了石墨件热态拆炉造成的使用寿命降低的情况,降低了生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 冷却 装置 | ||
【主权项】:
一种单晶炉的停炉冷却装置,其特征在于,包括内部空心的炉盖(7),炉盖(7)上分别设置有进水管(1)、出水管(3)和氩气进气管(5),进水管(1)上设置有进水管阀门(2),出水管(3)上设置有出水管阀门(4),氩气进气管(5)上设置有氩气阀,炉盖(7)的下表面通过两根导水管(8)连接有冷却主体(9),冷却主体(9)的下部连接有接触式冷却体(10),所述进水管(1)、炉盖(7)、导水管(8)、冷却主体(9)以及出水管(3)依次连通构成冷却循环系统。
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