[实用新型]一种多晶硅热氢化炉有效
申请号: | 201420577524.2 | 申请日: | 2014-10-08 |
公开(公告)号: | CN204173922U | 公开(公告)日: | 2015-02-25 |
发明(设计)人: | 沈伟 | 申请(专利权)人: | 四川瑞能硅材料有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 李海建 |
地址: | 620041 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本申请公开了一种热氢化炉,包括内炉筒、外炉筒以及底盘,还包括隔热层与底盘隔热层,所述隔热层设置于所述内炉筒的内侧,所述底盘隔热层设置于所述底盘的上表面。由于所设置的隔热层与底盘隔热层起到了隔热作用,通过传导方式传递给炉筒内表面与底盘的热量大幅度降低,进而减少了被液体所带走的热量,降低了热氢化炉内四氯化硅转化反应所需的电耗。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 氢化 | ||
【主权项】:
一种热氢化炉,包括内炉筒(2)、外炉筒(1)以及底盘(5),其特征在于,还包括隔热层(3)与底盘隔热层(6),所述隔热层(3)置于所述内炉筒(2)的内侧,所述底盘隔热层(6)置于所述底盘(5)上表面。
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