[实用新型]一种用于真空镀膜机的新型转架装置有效
| 申请号： | 201420695098.2 | 申请日： | 2014-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN204138750U | 公开（公告）日： | 2015-02-04 |
| 发明（设计）人： | 郭涛;蔡云锋;龙腾 | 申请（专利权）人： | 深圳市莱恩顿纳米技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 深圳众鼎专利商标代理事务所(普通合伙) 44325 | 代理人： | 朱业刚;谭果林 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种用于真空镀膜机的新型转架装置，包括转架、铁基齿轮、传动轴、轴承、双层隔热板、水冷槽；所述转架底部设有铁基齿轮，该铁基齿轮两侧设有轴承；该轴承上端设有传动齿轮，该传动齿轮与传动轴下方固定的定齿轮啮合；所述转架周边设有双层隔热板，该双层隔热板之间设有水冷槽，其中水冷槽的空隙内注有冷却液。本实用新型通过对转架与真空室进行隔离，在真空室与转架之间采用双层3mm厚的不锈钢板进行隔离，同时在转架周围加装水冷水套，使用冷水机冷水对水套降温。使得转架辐射出来的热量被迅速带走，这样转架在设备正常工作时的温度能达到铁基齿轮和轴承的使用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空镀膜 新型 装置 | ||
【主权项】：
一种用于真空镀膜机的新型转架装置，包括转架、铁基齿轮、传动轴、轴承、双层隔热板、水冷槽；其特征是，所述转架底部设有铁基齿轮，该铁基齿轮两侧设有轴承；该轴承上端设有传动齿轮，该传动齿轮与传动轴下方固定的定齿轮啮合；所述转架周边设有双层隔热板，该双层隔热板之间设有水冷槽，其中水冷槽的空隙内注有冷却液。
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