[实用新型]光刻机及光刻机用上版夹具有效
| 申请号： | 201420726857.7 | 申请日： | 2014-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN204215146U | 公开（公告）日： | 2015-03-18 |
| 发明（设计）人： | 杜武兵;林伟;孙多卫 | 申请（专利权）人： | 深圳市路维光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 深圳市维邦知识产权事务所 44269 | 代理人： | 黄莉 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种光刻机及光刻机用上版夹具，所述光刻机用上版夹具，用于使放置于曝光平台上的铬版中心与对应的曝光图形中心对齐，所述上版夹具包括将铬版在第一轴向上定位的第一轴向定位条，与第一轴向定位条一体成型的、将铬版在第二轴向上定位的第二轴向定位条，且第一轴向定位条、第二轴向定位条的外侧缘分别抵于设于曝光平台上的第一轴向定位钉、第二轴向定位钉，内侧缘分别抵于铬版的第一边缘和第二边缘。本实用新型实施例通过设置一体成型的所述第一轴向定位条、第二轴向定位条，从而使用所述上版夹具可使铬版直接对齐，操作简单，节省了操作时间，提升了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 用上 夹具 | ||
【主权项】：
一种光刻机用上版夹具，用于使放置于曝光平台上的铬版中心与对应的曝光图形中心对齐，其特征在于，所述上版夹具包括将铬版在第一轴向上定位的第一轴向定位条，与第一轴向定位条一体成型的、将铬版在第二轴向上定位的第二轴向定位条，且第一轴向定位条、第二轴向定位条的外侧缘分别抵于设于曝光平台上的第一轴向定位钉、第二轴向定位钉，内侧缘分别抵于铬版的第一边缘和第二边缘。
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