[实用新型]一种抛光机定盘盘面的修复装置

摘要

本实用新型公开了一种抛光机定盘盘面的修复装置，包括抛光机定盘和与所述抛光机定盘配合使用的喷淋机构和研磨机构。其定盘可以多次修复，既保证抛光晶片合格率，又有利于重复利用，避免资源的浪费。该工艺修盘时会产生少量的废液，通过集水槽结构的设置，可将抛光废液以及研磨盘废液收集后集中处理，避免了对环境的污染。通过机械臂实现自动操作，可使研磨盘移动幅度较广，使修复的盘面范围较广，可修复盘面的任意位置。采用该装置修复后的盘面可在一段较长时间内使抛光后晶片的质量稳定，符合客户要求。并且采用全自动控制，避免人工操作误差过大。

主权项

一种抛光机定盘盘面的修复装置，其特征在于，包括抛光机定盘和与所述抛光机定盘配合使用的喷淋机构和研磨机构；其中所述抛光机定盘上设有定盘盘面和一环形集水槽，所述集水槽设置在所述抛光机定盘上端部的外侧边沿上，所述定盘盘面设置在所述抛光机定盘上端部的中部，所述定盘盘面所在的平面高于所述集水槽所在的平面；所述喷淋机构包括一研磨液输送管道和一与所述研磨液输送管道连通的喷淋头，所述喷淋头通过机械臂移动到所述抛光机定盘的上方，所述喷淋头上设有一研磨液控制开关；所述研磨机构包括抛光头和一安装在所述抛光头上的研磨盘，所述抛光头中部设有一用于带动所述抛光头和所述研磨盘转动的转轴。