[实用新型]光罩取料装置及其夹持机构

摘要

本实用新型涉及一种光罩取料装置及其夹持机构，至少包含有一开盒机构及一设于开盒机构上的夹持机构，该夹持机构设于基板上的移动板一侧，其具有一可相对基板上、下位移的座板，且座板底面设有一驱动件，该驱动件可供驱动一枢设于座板顶面的旋转悬臂转动，再者旋转悬臂的自由端设有一夹持器，该夹持器具有两同步相对远离或靠近的夹持头，供同步夹掣或释放光罩的相对两侧边缘，如此，光罩取料装置不仅可利用开盒机构来选择性自动化启闭光罩传送盒，进一步并通过夹持机构的夹持器来夹掣光罩，且由于夹持器的夹持头来大幅缩小夹掣光罩的边缘宽度与面积，而不致碰触图罩护膜，也不会影响到对准记号及条码，同时可稳固地夹持光罩，并可提高其工作效率。

主权项

一种光罩取料装置，其特征在于：该光罩取料装置至少包含有一开盒机构及一设于开盒机构上的夹持机构，供分别开启一光罩传送盒及取放一置于该光罩传送盒内的光罩，其中光罩传送盒包含有一供支撑光罩的底板及一供覆盖底板形成密闭空间的盖体；而该开盒机构具有一基板，而基板上设有一能够承载光罩传送盒底板上、下位移的移动板，另基板上设有一位于移动板上方的顶板，顶板可供光罩传送盒定位，又顶板上形成有一供底板穿经的通孔；夹持机构设于基板上的移动板一侧，其具有一能够相对基板上、下位移的座板，且座板底面设有一驱动件，该驱动件可供驱动一枢设于座板顶面的旋转悬臂转动，再者旋转悬臂的自由端设有一夹持器，该夹持器具有两同步相对远离或靠近的夹持头，供同步夹掣或释放光罩的相对两侧边缘。