[实用新型]酸性蚀刻液再生系统有效
| 申请号： | 201420815912.X | 申请日： | 2014-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN204550715U | 公开（公告）日： | 2015-08-12 |
| 发明（设计）人： | 罗其云 | 申请（专利权）人： | 东莞市威力固电路板设备有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/46 | 分类号： | C23F1/46 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 523303 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种酸性蚀刻液再生系统。所述酸性蚀刻液再生系统包括蚀刻槽、与所述蚀刻槽连接的采样检测装置、多个添加装置和控制装置，多个所述添加装置与所述蚀刻槽连接，所述采样检测装置和多个所述添加装置分别与所述控制装置电连接，所述采样检测装置包括温度模块，所述温度模块与所述控制装置电连接。本实用新型提供的酸性蚀刻液再生系统具有取样准确、及时并精准调节酸性蚀刻液个成分比例保持蚀刻液较强的蚀刻能力和操作便捷的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 酸性 蚀刻 再生 系统 | ||
【主权项】：
一种酸性蚀刻液再生系统，其特征在于：包括蚀刻槽、与所述蚀刻槽连接的采样检测装置、多个添加装置和控制装置，多个所述添加装置与所述蚀刻槽连接，所述采样检测装置和多个所述添加装置分别与所述控制装置电连接，所述采样检测装置包括温度模块，所述温度模块与所述控制装置电连接。
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