[实用新型]晶片测试样品有效
申请号: | 201420827513.5 | 申请日: | 2014-12-23 |
公开(公告)号: | CN204271065U | 公开(公告)日: | 2015-04-15 |
发明(设计)人: | 王潇;郭炜;孙涛 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | H01L23/13 | 分类号: | H01L23/13;H01L21/66 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型揭示了一种晶片测试样品,包括:基板以及位于所述基板上的待测晶片,所述基板的上表面设置有导流区域,所述导流区域内设置有导流凹槽,所述待测晶片通过胶粘剂固定于所述基板的上表面,所述待测晶片覆盖所述导流区域的中心区域。当通过所述胶粘剂将所述待测晶片固定于所述基板的上表面时,多余的所述胶粘剂顺着所述导流凹槽流出,避免多余的所述胶粘剂沾污所述待测晶片的上表面;并且所述胶粘剂经过所述导流凹槽的导流,所述胶粘剂更好地填充在所述待测晶片的下表面的边缘,使得所述待测晶片不易破碎。 | ||
搜索关键词: | 晶片 测试 样品 | ||
【主权项】:
一种晶片测试样品,其特征在于,包括:基板以及位于所述基板上的待测晶片,所述基板的上表面设置有导流区域,所述导流区域内设置有导流凹槽,所述待测晶片通过胶粘剂固定于所述基板的上表面,所述待测晶片覆盖所述导流区域的中心区域。
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