[实用新型]晶片测试样品有效

专利信息
申请号: 201420827513.5 申请日: 2014-12-23
公开(公告)号: CN204271065U 公开(公告)日: 2015-04-15
发明(设计)人: 王潇;郭炜;孙涛 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
主分类号: H01L23/13 分类号: H01L23/13;H01L21/66
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 100176 北京市大兴区*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型揭示了一种晶片测试样品,包括:基板以及位于所述基板上的待测晶片,所述基板的上表面设置有导流区域,所述导流区域内设置有导流凹槽,所述待测晶片通过胶粘剂固定于所述基板的上表面,所述待测晶片覆盖所述导流区域的中心区域。当通过所述胶粘剂将所述待测晶片固定于所述基板的上表面时,多余的所述胶粘剂顺着所述导流凹槽流出,避免多余的所述胶粘剂沾污所述待测晶片的上表面;并且所述胶粘剂经过所述导流凹槽的导流,所述胶粘剂更好地填充在所述待测晶片的下表面的边缘,使得所述待测晶片不易破碎。
搜索关键词: 晶片 测试 样品
【主权项】:
一种晶片测试样品,其特征在于,包括:基板以及位于所述基板上的待测晶片,所述基板的上表面设置有导流区域,所述导流区域内设置有导流凹槽,所述待测晶片通过胶粘剂固定于所述基板的上表面,所述待测晶片覆盖所述导流区域的中心区域。
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