[实用新型]一种硅片划片盘的结构

摘要

本实用新型涉及一种硅片划片盘的结构，包括基板，所述基板的一面有多个工位；而其：所述基板有可与真空泵管路连接且呈米字形分开布置的四个流道；所述基板的一面有九个工位，且呈3×3矩阵式排布的；九个工位各自具有沿径向呈直线布置的若干个沉孔，且各个工位的沉孔与相应的流道相连通；所述基板的另一面有与四个流道以及第九工位中心沉孔分别相连通的轴向通孔。本实用新型具有结构简单，且能提高划片效率等优点。

主权项

 一种硅片划片盘的结构，包括基板（1），所述基板（1）的一面有多个工位；其特征在于：所述基板（1）有可与真空泵管路连接且呈米字形分开布置的第一流道（1‑1）、第二流道（1‑2）、第三流道（1‑3）和第四流道（1‑4）；所述基板（1）的一面有第一工位（2）、第二工位（3）、第三工位（4）、第四工位（5）、第五工位（6）、第六工位（7）、第七工位（8）、第八工位（9）和第九工位（10），且基板（1）一面的九个工位是呈3×3矩阵式排布的；所述第一工位（2）、第二工位（3）、第三工位（4）、第四工位（5）、第五工位（6）、第六工位（7）、第七工位（8）、第八工位（9）和第九工位（10）各自具有沿径向呈直线布置的若干个沉孔（2‑1、3‑1、4‑1、5‑1、6‑1、7‑1、8‑1、9‑1、10‑1），所述第一工位（2）的若干个沉孔（2‑1）和第五工位（6）的若干个沉孔（6‑1）分别与第一流道（1‑1）相连通，所述第二工位（3）的若干个沉孔（3‑1）和第六工位（7）的若干个沉孔（7‑1）分别与第二流道（1‑2）相连通，所述第三工位（4）的若干个沉孔（4‑1）和第七工位（8）的若干个沉孔（8‑1）分别与第三流道（1‑3）相连通，所述第四工位（5）的若干个沉孔（5‑1）、第八工位（9）的若干个沉孔（9‑1）分别与第四流道（1‑4）相连通；所述基板（1）的另一面有与第一流道（1‑1）、第二流道（1‑2）、第三流道（1‑3）和第四流道（1‑4）以及第九工位（10）中心沉孔（10‑1）分别相连通的轴向通孔（11）。