[实用新型]能够防止硅片上浮的硅片筐提手

摘要

能够防止硅片上浮的硅片筐提手属于半导体器件芯片制造技术领域。现有技术在硅片的腐蚀、去胶过程中，硅片会随气泡上浮，边缘露出腐蚀液液面，导致腐蚀不均匀以及去胶不彻底，同时，由于上浮后的硅片脱离与滚轮的接触而停止转动，腐蚀以及去胶效果进一步变劣。本实用新型其特征在于，横挡与U形带的横梁平行；横挡的具体方案有两种：一、横挡为一个完整部件，横挡两端穿过U形带两侧下部，并与U形带两侧下部动配合，横挡的两端具有限位盖，横挡的长度比U形带两侧下部间距大10～20毫米；二、横挡由左面部分、右面部分构成，左面部分的左端与U形带左侧下部固定连接，右面部分的右端与U形带右侧下部固定连接，左面部分的右端与右面部分的左端以套管的方式连接。

主权项

一种能够防止硅片上浮的硅片筐提手，采用聚四氟乙烯一次注塑而成，下弯横撑(6)位于提手(3)中上部，并位于U形带(7)内侧，下弯横撑(6)的两端与U形带(7)两侧连接，U形带(7)两侧下部形状与结构相同，均呈展开状，在U形带(7)两侧下部的两端各有一个嵌销(8)；所述下弯横撑(6)为刚性件，所述U形带(7)为弹性件；其特征在于，横挡(10)与U形带(7)的横梁(9)平行；横挡(10)的具体方案有两种：一、横挡(10)为一个完整部件，横挡(10)两端穿过U形带(7)两侧下部，并与U形带(7)两侧下部动配合，横挡(10)的两端具有限位盖(11)，横挡(10)的长度比U形带(7)两侧下部间距大10～20毫米；二、横挡(10)由左面部分、右面部分构成，左面部分的左端与U形带(7)左侧下部固定连接，右面部分的右端与U形带(7)右侧下部固定连接，左面部分的右端与右面部分的左端以嵌套方式连接。