[实用新型]一种静电吸盘

摘要

本实用新型涉及一种静电吸盘，包括电极层和陶瓷电介体，所述电极层设置于两层陶瓷电介体之间，所述两层陶瓷电介体中的第一电介层的下表面边缘有一圈凸起，第二电介层的上表面边缘与所述第一电介层的凸起对应处有一圈凹槽，所述第二电介层的上表面设置电极层，所述电极层通过陶瓷金属化处理的手段形成于第二电介层的上表面，所述第一电介层的凸起与第二电介层的凹槽拼合呈相互耦合状态，并通过固相烧结方式将电极层埋入陶瓷电介体内部。本实用新型采用两层电介体边缘相互耦合以及固相烧结的方式实现电极层与陶瓷电介体的可靠结合；由于电极层中可以不添加无机陶瓷晶体粒子，从而能够提高内部电极的导电性能。

主权项

一种静电吸盘，包括电极层(2)和陶瓷电介体，其特征在于，所述电极层(2)设置在两层陶瓷电介体之间，所述两层陶瓷电介体中的第一电介层(1)的下表面边缘有一圈凸起，第二电介层(3)的上表面边缘与所述第一电介层(1)的凸起对应处有一圈凹槽，所述第二电介层(3)的上表面设置电极层(2)，所述电极层(2)通过陶瓷金属化处理在第二电介层(3)的上表面成形，所述第一电介层(1)的凸起与第二电介层(3)的凹槽拼合呈相互耦合状态，并通过固相烧结方式形成一个整体。