[发明专利]Ag合金膜形成用溅射靶及Ag合金膜、Ag合金反射膜、Ag合金导电膜、Ag合金半透明膜有效
| 申请号： | 201480004766.5 | 申请日： | 2014-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN104919081B | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | 岁森悠人;野中荘平 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C5/06;C22F1/00;C22F1/14 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 朴圣洁;王珍仙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种Ag合金膜形成用溅射靶、Ag合金膜、Ag合金反射膜、Ag合金导电膜及Ag合金半透明膜，该Ag合金膜形成用溅射靶的特征在于，具有如下组成：0.2原子％以上2.0原子％以下的Sb、0.05原子％以上1.00原子％以下的Mg，余量由Ag和不可避免杂质构成。 | ||
| 搜索关键词： | ag 合金 形成 溅射 反射 导电 半透明 | ||
【主权项】：
Ag合金膜形成用溅射靶，其特征在于，具有如下组成：0.2原子％以上2.0原子％以下的Sb、0.05原子％以上1.00原子％以下的Mg，余量由Ag和不可避免杂质构成。
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