[发明专利]固化物膜的制造方法、电子部件的制造方法及电子部件

摘要

本发明提供一种可提高微细的固化物膜的形成精度，且可提高固化物膜的密合性的固化物膜的制造方法。本发明的固化性膜的制造方法具备使用喷墨装置(11)涂布具有光固化性及热固化性且为液状的固化性组合物(12)的涂布工序；从第1光照射部(13)向固化性组合物(12)照射光的第1光照射工序和对照射了光的预固化物膜(12A)进行加热的加热工序，喷墨装置(11)具有贮存固化性组合物(12)的油墨罐、喷出部和循环流路部，在上述涂布工序中，在喷墨装置11内使固化性组合物(12)一边循环一边涂布。

主权项

1.一种固化物膜的制造方法，其具备：涂布工序，其使用喷墨装置涂布具有光固化性及热固化性且为液态的固化性组合物；第1光照射工序，其在所述涂布工序后，由第1光照射部对所述固化性组合物照射光，使所述固化性组合物进行固化，形成预固化物膜；加热工序，其在所述第1光照射工序后，对经过光照射的所述预固化物膜进行加热，使经过光照射的所述预固化物膜发生固化，形成固化物膜；所述喷墨装置具有：油墨罐，其贮存所述固化性组合物；喷出部，其与所述油墨罐连接且喷出所述固化性组合物；循环流路部，其一端与所述喷出部连接，另一端与所述油墨罐连接且所述固化性组合物在其内部流动，所述循环流路部包含在所述循环流路部内临时贮存所述固化性组合物的缓冲罐，在所述涂布工序中，使所述固化性组合物在所述喷墨装置内从所述油墨罐转移至所述喷出部，然后，使未从所述喷出部喷出的所述固化性组合物在所述循环流路部内流动而转移至所述油墨罐，由此，一边循环所述固化性组合物，一边涂布所述固化性组合物。