[发明专利]稀释剂组合物及其用途有效
| 申请号： | 201480007310.4 | 申请日： | 2014-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN104969129B | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 权五焕;尹锡壹;郑宗铉;金炳郁;赵泰杓;辛成健 | 申请（专利权）人： | 东进世美肯株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;G03F7/32;H01L21/027;G03F7/09 |
| 代理公司： | 11399 北京冠和权律师事务所 | 代理人： | 朱健;陈国军 |
| 地址： | 韩国仁*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种稀释剂组合物及其用途。本发明的稀释剂组合物对各种光阻剂都具有优异的溶解力，且具有最适当的挥发性，因此能够在短时间内于边缘球状物移除工艺或类似工艺中有效地去除不必要附着的光阻剂，并且可应用于半导体基板的预润湿工艺，用少量的光阻剂也能够有效地形成感光膜。 | ||
| 搜索关键词： | 稀释剂 组合 及其 用途 | ||
【主权项】：
1.一种稀释剂组合物，由以下组分组成：/n40至80wt％的1-甲氧基-2-丙醇醋酸酯；以及/n20至60wt％的乙二醇丙基醚。/n
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