[发明专利]图案测定装置以及半导体测量系统

摘要

本发明的目的在于提供一种能够求出用于适当地选择针对半导体器件的处理的评价结果的图案测定装置以及半导体测量系统。为了达到上述目的，本发明提出一种图案测定装置，其具备进行电子器件的电路图案和基准图案的比较的运算装置，该运算装置根据上述电路图案和基准图案之间的测量结果与至少2个阈值的比较，以电路图案的处理单位将该电路图案分类。

主权项

一种图案测定装置，具备进行电子器件的电路图案和基准图案的比较的运算装置，该图案测定装置的特征在于，该运算装置根据上述电路图案和基准图案之间的测量结果与至少2个阈值的比较，对该电路图案分类为：设为修正该电路图案的布局数据或掩模的对象，或是设为测定装置进行监视的对象；对于设为修正该电路图案的布局数据或掩模或者测定装置进行监视的对象的电路图案，该图案测定装置还配置为：进行用于上述电路图案的摄影图像和上述电路图案的制造的设计图案的图案匹配，求出设计图案和摄影图像的对应关系；确定求出了用于形状得分的计算的测量值的基准图案的部位；通过由图案匹配求出的设计图案和电路图案的对应关系，求出与基准图案的部位对应的设计坐标。