[发明专利]热辅助磁头检查装置以及热辅助磁头检查方法

摘要

热辅助磁头检查装置(1)具备：磁头磁场检测系统(36、37)，其根据悬臂(10)的位移量测定热辅助磁头(11)所产生的磁场；近场光检测系统(20)，其根据在悬臂位置产生的散射光测定热辅助磁头(11)所产生的近场光；光学系统工作台(2)，其搭载近场光检测系统，在二维方向上移动；以及图像显示部，其通过照相机(35)拍摄悬臂和热辅助磁头的位置关系来进行显示。在更换了悬臂时，控制部(4)参照图像显示部计算悬臂的更换造成的位置偏离量，使光学系统工作台(2)移动计算出的位置偏离量。由此，在测定由热辅助磁头产生的磁场和近场光的情况下，即使在更换悬臂时产生位置偏离也会自动地对其进行调整。

主权项

一种热辅助磁头检查装置，其检查热辅助磁头产生的磁场和近场光，其特征在于，具备：XY工作台，载置上述热辅助磁头并将其在二维方向上进行扫描；悬臂，在前端具有磁性探针并通过预定频率被激励；Z工作台，将上述悬臂保持在距离上述热辅助磁头的表面的预定高度；磁头磁场检测系统，根据上述悬臂的位移量测定上述热辅助磁头产生的磁场；近场光检测系统，根据在上述悬臂位置产生的散射光测定上述热辅助磁头产生的近场光；光学系统工作台，搭载上述近场光检测系统并使其在二维方向上移动；图像显示部，通过照相机拍摄上述悬臂和上述热辅助磁头的位置关系来进行显示；以及控制部，控制上述XY工作台和上述光学系统工作台，以使上述热辅助磁头和上述悬臂以及上述近场光检测系统成为预定的位置关系，在更换了上述悬臂时，上述控制部参照上述图像显示部计算上述悬臂的更换造成的位置偏离量，使上述光学系统工作台移动计算出的位置偏离量。