[发明专利]用于待处理的平坦材料的湿式化学处理的装置和方法有效
| 申请号： | 201480018030.3 | 申请日： | 2014-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN105075406B | 公开（公告）日： | 2018-02-09 |
| 发明（设计）人： | 亨利·库兹 | 申请（专利权）人： | 德国艾托特克公司 |
| 主分类号： | H05K3/00 | 分类号： | H05K3/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司11287 | 代理人： | 林斯凯 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于水平通过系统的待处理平坦材料(8)的湿式化学处理的装置，其具有使用第一液体处理所述待处理材料(8)的第一处理模块(2、3、6)和使用第二液体处理所述待处理材料(8)的第二处理模块(5、7)。提供贮存构件(22a、22b、22c、36、38、48、58)以将所述第一液体贮存在所述第一处理模块(2、3、6)的第一处理区(11、17、41)中并且将所述第二液体贮存在所述第二处理模块(5、7)的第二处理区(31、51)中。借助传输布置(16)将所述待处理材料传输通过所述装置，其中所述传输布置(16)直接在所述第一处理区(11、17、41)与所述第二处理区(31、51)之间转移所述待处理材料(8)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 处理 平坦 材料 化学 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种用于水平通过系统的待处理平坦材料的湿式化学处理的装置，其包括第一处理模块，其使用第一液体处理所述待处理材料，第二处理模块，其使用第二液体处理所述待处理材料，至少一个其它冲洗模块，其使用冲洗液体处理所述待处理材料；贮存构件，其经设计以将所述第一液体贮存在所述第一处理模块的第一处理区中，将所述第二液体贮存在所述第二处理模块的第二处理区中并且将所述冲洗液体贮存在所述至少一个其它冲洗模块的至少一个其它处理区中的达到至少远到传输平面的位准，分割布置，其在所述分割布置的至少一侧上限定用于通过所述待处理材料的空隙且提供于邻近冲洗模块之间，和传输布置，其用于在水平传输平面上将所述待处理材料传输通过所述第一处理区和所述第二处理区，其中所述装置经设计以使得所述传输布置直接在所述第一处理区与所述第二处理区之间转移所述待处理材料，并且其中所述装置经设计以直接在所述第二处理区与所述至少一个其它处理区之间转移所述待处理材料，并且其中所述装置经设计以在由所述分割布置限定的所述空隙中设定与所述待处理材料的传输方向相反地引导的所述冲洗液体的流。
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